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• 雙折射測量儀
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  • 應(yīng)力雙折射測量儀WPA系列
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  • 晶圓應(yīng)力雙折射測量儀
  • 在線型應(yīng)力雙折射測量儀
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• 無掩膜光刻系統(tǒng)
  • 無掩膜光刻機(jī)
• 微區(qū)取樣系統(tǒng)
  • 微區(qū)取樣儀
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• 薄膜應(yīng)力儀/球坑儀/桌面級鍍膜系統(tǒng)
  • 測量
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  • 劃片機(jī)
  • 研磨機(jī)
  • 清洗機(jī)
  • 解膠機(jī)
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  • 刀具與耗材
• 微光學(xué)元件
  • 微光透鏡與耦合系統(tǒng)
• 激光器
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  • 激光測距儀
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• 物理特性測量設(shè)備
  • 納米壓痕儀

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