APCO精密劃片機(jī)

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• 更新時(shí)間：2024-09-03
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日本APCO公司APCO精密劃片機(jī)系列，型號包括AMC－7600，7800，8000。適用于TEM（透射電鏡）和SEM（掃描電鏡）等的樣品制備工作，廣泛應(yīng)用于硅片、光掩膜、液晶顯示器用TFT、石英、集成電路器件等樣品橫斷面的切割。劃片精度微米，適用于Z大達(dá)8英寸，厚度0.6至10毫米樣品，可確保獲得光滑的橫斷面以便于進(jìn)一步觀察。具有CPU控制，操作簡便，制備速度快，可以刻劃平坦或彎曲的樣品。

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APCO精密劃片機(jī)簡介：

日本APCO公司精密劃片機(jī)系列，型號包括AMC－7600，7800，8000。適用于TEM（透射電鏡）和SEM（掃描電鏡）等的樣品制備工作，廣泛應(yīng)用于硅片、光掩膜、液晶顯示器用TFT、石英、集成電路器件等樣品橫斷面的切割。劃片精度±15微米，適用于大達(dá)8英寸，厚度0.6至10毫米樣品，可確保獲得光滑的橫斷面以便于進(jìn)一步觀察。具有CPU控制，操作簡便，制備速度快，可以刻劃平坦或彎曲的樣品。目前，包括東芝、索尼、愛普生、IBM、菲利普、NEC等許多國際半導(dǎo)體制造商都在使用APCO的產(chǎn)品。

APCO AMC-8000：

AMC-8000是AMC-7600、8000的改進(jìn)型，主要是提高了劃線精度。

光學(xué)顯微鏡采用美國著名的NAVITAR公司的伸縮鏡頭顯微鏡，通過CCD攝像機(jī)定位。

也可選用伸縮和微聚焦的電機(jī)驅(qū)動式。

其他規(guī)格與AMC-7600相同。

《AMC-8000簡要規(guī)格》

1. 適用材料：石英、硅片、玻璃、掩膜片、TFT基板、顯象管、等離子體顯示器等

2. 平面、曲面（CRT熒光面等）均可切劃

3. 適用材料尺寸：大8"英寸

4. 劃線精度：±2.5um

5. 大顯示倍率：約800倍（在20寸CRT上）

6. 外形尺寸：650W×550D×650H（（不含CRT等）

7. 重量：約78Kg（不含CRT等）

APCO精密劃片機(jī)主要特點(diǎn)：

1. 操作簡單，自動劃線準(zhǔn)確，可間隔劃線5處

2. 平面、曲面皆可劃線，切線整齊，獲

3. 劃刀壓力可自由設(shè)定，從2N～60N

4. 刀片壽命可達(dá)1年以上

5. 帶報(bào)警裝置，工作不正常時(shí)會報(bào)警

6. 適用于石英、硅片、研磨片、玻璃、TFT基板、顯象管、等離子體顯示器等

APCO AMC-8000參數(shù)規(guī)格：

1．適用材料尺寸：8英寸    10mmt
2．工作臺移動距離：X＝50mm  Y＝230mm  θ＝360度
3．劃線精度：±15um
4．光學(xué)系統(tǒng)：單筒收縮顯微鏡  實(shí)體顯微鏡
5．監(jiān)測：CCD＋14～20英寸彩顯
6．顯示倍率：22～800倍
APCO AMC-8000切割壓力設(shè)定實(shí)例：

石英    8.85mmt           約45N
石英    3.00              約30N
石英    2.30              約25N
玻璃    10mm（14"CRT）   約55N
玻璃    0.8mm             約12N
Si      0.7mm             約5N
顯象管  10mm
硅片（Si、InP）
APCO AMC-8000切成片實(shí)例：

6025石英掩膜→6.35mm×約5mm×約5mm
1.2mmt玻璃  →1.2mm×約5mm×約50mm
0.7mmt硅片  →0.7mm×約4mm×約4mm
3mmt InP片  →0.3mm×約0.5mm×約5mm

APCO AMC-8000刀壓設(shè)定很容易

刀壓由旋鈕自由設(shè)定。對一種試樣，可改變幾次設(shè)定值試劃，便可得到合適的刀壓。以合適刀壓劃線后，用附屬的切斷鉗很容易切斷。
APCO AMC-8000劃線設(shè)定簡單

只要將劃線端點(diǎn)對準(zhǔn)OM表針中心位置，按壓設(shè)定指令按鈕即可，此位置即為劃線起點(diǎn)或終點(diǎn)。
大設(shè)定12點(diǎn)（間隔劃線大可設(shè)定5點(diǎn)）設(shè)定后，裝置即自動劃片。
APCO AMC-8000劃刀壽命長（1年以上）的理由：

采用超硬刀輪，旋轉(zhuǎn)劃片，不易磨損。

超硬刀輪的行走方向由工作臺的行走方向調(diào)節(jié)。

帶有聲響警告裝置，在下列情況下裝置警告且不工作。

當(dāng)工作臺旋轉(zhuǎn)鎖定未卡好時(shí)。

設(shè)定位置不當(dāng)時(shí)。

設(shè)定次數(shù)與要劃線次數(shù)不符合時(shí)。

安全保證。

漏電切斷，無熔線斷路器。

APCO AMC-8000補(bǔ)充說明：
本機(jī)不是大批量生產(chǎn)用的，而是在使用SEM觀察各種半導(dǎo)體硅片、各種玻璃材料等不良部位及試制品合格與否時(shí)，為其制作試樣用的機(jī)器。使用該機(jī)的主要時(shí)研究開發(fā)部門、品質(zhì)管理部門、分析/解析部門。
本機(jī)的特點(diǎn)及剖面SEM試樣的加工工藝如下：
一．特點(diǎn)

制作試樣無需研磨，一般制作試樣時(shí)時(shí)先將試樣埋入樹脂后，而研磨而制成的，故制作一個(gè)試樣需要花幾個(gè)小時(shí)，本機(jī)則只需要15分鐘左右。

采用*的跳躍間隔劃線方式，不會傷及觀察部分（試樣表面）。

使用顯微鏡，能很容易輸入劃線加工部分的坐標(biāo)位置。

提高了X軸方向的分辨率，以便能從要觀察的部分切斷。

二．加工工藝過程：

先在要觀察的微小部位的前后表面劃線，以便之后切斷。

用夾鉗夾住試樣，切斷。

三．劃線精度：
AMC-7600     ±15um
AMC-7800     ±15um
AMC-8000     ±2.5um
四．劃線寬度由試樣和劃線加工條件而異，約為數(shù)100 um。
五．大5點(diǎn)跳躍間隔劃線，如后圖所示，用顯微鏡觀察試樣表面時(shí)，如果觀察部分遭到破壞，便無法觀察，本機(jī)可預(yù)先設(shè)定好劃線坐標(biāo)位置，自動地跳過要觀察的部位，這樣便不會劃傷要觀察的部位了。而且一次劃線可取得5個(gè)要觀察的位置。但條件是硅片等結(jié)晶材料，其觀察部位要沿結(jié)晶方向在一條直線上。
六．劃刀價(jià)格：15000－30000日元。（屬日本國內(nèi)價(jià)格，且?guī)У都埽?br/>七．劃刀壽命：以加工硅片為例，每年需換2－3次刀。
八．的使用方法：

將劃過線的試樣裝在機(jī)子上；

旋轉(zhuǎn)沖壓旋鈕輕輕固定；

將試樣劃線與懸臂前端中心線對齊；

慢慢旋動沖壓旋鈕，將試樣切斷。